PGS-ZTPR 系列
動態性能優秀、快速運動及整定、納米級靜態抖動
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設計特點：
A. 無摩擦，無磨損柔性導向
B. 機械設計緊湊 -- 在極小空間中實現四自由度 (Z, Rx, Ry, Rz) 運動
C. 動態性能優秀、快速運動及整定、納米級靜態抖動
D. 內置真空氣路以及真空閥供真空卡盤使用
E. 適用于晶圓檢測、量測應用中的對焦，對準環節
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參數規格 負載質量：1.4-2.0 kg
PGS-ZTPR-X-1-X-X-X
PGS-ZTPR-X-2-X-X-X
負載質量：2.0-2.5 kg
PGS-ZTPR-X-3-X-X-X
PGS-ZTPR-X-4-X-X-X
用于Z, Rx 和 Ry軸 電機型號 AVMG40-5 AVM040-G 持續推力(自冷) @100ºC①② 8.1 N 8.5 N 峰值推力 20.0 N 20.9 N 力常數 ±10%② 8.1 N/A 8.5 N/A 反電勢常數 ±10%② 8.1 V/(m/s) 8.5 V/(m/s) 相間電阻 @25ºC ±10%③ 7.3 Ω 7.3 Ω 相間電感 ±20%④ 2.9 mH 2.9 mH 持續電流(自冷) @100ºC① 1.0 A 1.0 A 峰值電流 2.5 A 2.5 A 最高母線電壓 48 Vdc 48 Vdc 用于Rz軸 電機型號 ACW130-P14-P-K-NH-0.1-NFB-Z25 持續轉矩(自冷) @130ºC① 2.4 Nm 峰值轉矩 8.3 Nm 轉矩常數 ±10% 0.55 Nm/Arms 反電勢常數 ±10% 0.047 Vpeak/rpm 相間電阻 @25ºC ±10%③ 2.20 Ω 相間電感 ±20%④ 1.4 mH 持續電流(自冷) @130ºC① 4.3 Arms 峰值電流 15 Arms 最高母線電壓 330 Vdc 極數, 2p 16 用于抬升桿 電機型號 永磁式直流步進電機 相位 2 步距角 7.5° 額定電流 0.35 A 相間電阻 @20°C ±10% 14 Ω 線圈類型 雙極性 機械參數 Z Rx,Ry Rz 抬升桿 有效行程 4 mm ±0.5 mrad 364°⑤ 10 mm 分辨率 SINCOS SINCOS 0.019 arcsec - 定位精度(補償后) ±0.2 μm - ±4 arcsec - 單向重復定位精度 ±0.05 μm - - ±30 μm 雙向重復定位精度 ±0.075 μm - ±3 arcsec - 典型靜態抖動, 3σ, 1 kHz 截止頻率 ±10 nm ±0.03 arcsec ±0.25 arcsec - 擺動誤差 - - ±10 arcsec - 擺動誤差重復性 - - ±1.5 arcsec - 徑向跳動 - - ±5 μm - 徑向跳動重復性 - - ±0.75 μm - 額定負載 1.4 - 2.5 kg⑥ 0.15 kg 最大加速度(視負載而定) 2 m/s² - 1E5 deg/s - 最大速度(視負載而定) 0.1 m/s² - 720 deg/s - 典型運動加整定時間(1.5 kg 負載) 1 μm 步進， 整定窗口 ±50 nm，整定時間 20 ms 100 μm 步進， 整定窗口 ±50 nm，整定時間 50 ms 1 μm 步進， 整定窗口 ±30 nm，整定時間 50 ms 100 μm 步進， 整定窗口 ±30 nm，整定時間 90 ms - 1° 步進， 整定窗口 ±0.4 arcsec，整定時間 100 ms 120° 步進， 整定窗口 ±0.4 arcsec，整定時間 400 ms 180° 步進， 整定窗口 ±0.4 arcsec，整定時間 1 s 10 mm步進， 時間 2 s 有效行程 8 kg 表面處理 黑色或自然陽極氧化處理(可選) 注：
1 測量時環境溫度為25ºC，取決于散熱環境。2 行程中點處的值。
3 電阻測量采用直流電流，含3 m標準線纜。
4 電感測量頻率為1 kHz。
5 帶抬升桿選項的模組的Rz有效行程為200°，硬限位行程大約250°。
6 必須針對準確負載進行配重設計，請聯系[email protected]。
相關參數規格如有變動，恕不另行通知。
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